🇨🇳中國·AI 新聞·2026年10月15日·來源： SCMP·獲 4 個來源報道

中國推動晶片製造之際，初創公司發佈EUV光刻機「心臟」原型

上海初創公司Langdao Silex在中國國際工業博覽會上展示了極紫外光（EUV）光源系統原型。據文章引述《解放日報》報道，該公司代表表示，該機器90%的組件已實現本地化，大部分核心部件為自主研發。

Nexa 摘要

Langdao Silex發佈EUV光源原型，代表著中國在實現晶片製造設備自給自足的既定目標方面邁出了早期一步。該組件被廣泛認為是先進光刻系統的關鍵，而先進光刻系統對於製造尖端半導體至關重要。

據報，90%的組件實現本地化，核心部件為自主研發，這表明中國正努力減少對外國技術的依賴。這一細節表明，其重點不僅在於組裝系統，還在於國內開發底層技術能力。

雖然原型的展示表明了進展，但這並不等同於商業上可行或可大規模生產的系統。這種複雜技術的挑戰不僅限於單個組件，還延伸到光源本身，需要一致的性能以及與光刻過程其他關鍵元素（如光學元件和掩模）的整合。目前的公告僅關注這個更大、高度複雜系統的一個部分。

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