中国初创公司发布EUV光刻机“心脏”原型，助力中国芯片制造

Langdao Silex发布EUV光源原型，代表着中国在实现芯片制造设备自给自足的既定目标方面迈出了早期一步。该组件被广泛认为是先进光刻系统的关键，而先进光刻系统对于制造尖端半导体至关重要。

据报，90%的组件实现本地化，核心部件为自主研发，这表明中国正努力减少对外国技术的依赖。这一细节表明，其重点不仅在于组装系统，还在于国内开发底层技术能力。

虽然原型的展示表明了进展，但这并不等同于商业上可行或可大规模生产的系统。这种复杂技术的挑战不仅限于单个组件，还延伸到光源本身，需要一致的性能以及与光刻过程其他关键元素（如光学元件和掩模）的集成。目前的公告仅关注这个更大、高度复杂系统的一个部分。