🇨🇳中國·AI 新聞·2026年9月19日·來源: SCMP
中國在沒有先進光刻工具的情況下,在3納米晶片方面取得進展
中國研究人員利用較舊的深紫外光(DUV)光刻工具,在3納米以下晶片製造方面取得了早期進展。這項突破來自國家支持的中國科學院(CAS),特別是其微電子研究所(IMECAS)。這項發展顯示了中國繞過美國對ASML先進極紫外光(EUV)光刻機出口限制的努力。IMECAS已經建立了初步的環繞閘極(GAA)器件開發路徑,完成了堆疊納米片通道GAA CMOS電晶體的早期整合。
中國在3納米以下DUV技術的突破並非關於大規模生產,而是證實了該國致力於開闢替代晶片製造路徑的決心。中國科學院(CAS)展示了一條初步的環繞閘極(GAA)器件開發路徑。這項技術利用了較不先進的深紫外光(DUV)光刻技術,從而規避了美國對ASML EUV工具的制裁。目前重點在於基礎研究,而非即時商業化。
這項發展提升了台灣晶片代工廠,特別是TSMC的競爭壓力。儘管TSMC在先進EUV技術方面處於領先地位,但中國在3納米以下DUV節點的進展,最終可能減少對台灣晶圓廠在某些先進晶片上的依賴。TSMC面臨的考驗是,其技術領先能否在中國發展自身能力的同時保持市場份額。這將使中國具備競爭力的先進製造時間表提前。
值得關注的是中國從實驗室突破到試驗生產線,再到量產的速度。這將決定對全球供應鏈的實際影響。如果中國能在2030年前實現哪怕是有限的3納米以下DUV生產,將顯著改變半導體格局。這將挑戰目前依賴EUV的製造商的主導地位。





