Gigaphoton 开始评估 L300KZ 准分子激光器，用于先进材料应用的脉冲激光沉积

这项发展标志着将传统用于半导体光刻的准分子激光技术应用于先进材料的又一步。Gigaphoton 正利用其既有专业知识开发用于脉冲激光沉积（PLD）的激光器，PLD 是形成高质量薄膜的关键工艺。L300KZ 激光器专为支持稀土钡铜氧化物（REBCO）电线的大规模生产而设计，REBCO 电线是聚变反应堆中超导磁体的一个组件。

目前阶段涉及在实际的 PLD 薄膜沉积环境中评估激光器。这意味着该项目现在将专注于了解激光操作条件如何影响沉积过程。目标是改进制造技术，提高超导线的质量，并建立大批量生产的方法。

虽然目前的重点是聚变反应堆用高温超导线，但 Gigaphoton 也预计其 PLD 技术将有更广泛的应用。该公司看到了在各种先进材料领域的潜力，包括功能薄膜、先进电子材料和光学材料。这表明其激光技术的战略性扩展，超越了其核心半导体光刻业务，进入更广泛的工业应用领域。