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    🇰🇷南韓·AI 新聞·2026年10月5日·來源: 서울경제

    中國儲備343台浸潤式DUV機器,獲得7納米AI晶片基礎

    一份美國智庫報告聲稱,截至今年初,中國晶片廠已購入343台浸潤式深紫外光(DUV)光刻機。據報,這些機器,包括270台ASML Twinscan NXT:1980i型號,能夠生產7納米邏輯晶片和高端記憶體,挑戰美國旨在限制中國先進半導體發展的出口管制。

    Nexa 摘要

    這些DUV機器的採購,特別是NXT:1980i型號,似乎源於美國出口管制中存在的漏洞。儘管先進的極紫外光(EUV)系統受到限制,但較舊的DUV型號,包括浸潤式DUV,仍可透過荷蘭政府逐案審批獲得。這種區別使中國能夠繼續進口設備,儘管這些設備並非最尖端,但仍可應用於先進晶片製造。報告指出,中國在2024年和2025年花費超過130億美元購買額外的NXT:1980i機器。

    浸潤式DUV技術透過在鏡頭和晶圓之間使用水,提高了精度,相較於乾式DUV,能夠生產7納米邏輯晶片和高端記憶體。中國將這些進口機器與多重圖案化技術(一種以重疊層繪製電路的技術)結合的策略,表明其正努力克服DUV固有的限制。這種方法旨在最大限度地利用現有技術來生產華為Ascend AI加速器和先進記憶體等組件。

    美國智庫預計,如果中國每年繼續進口90台NXT:1980i機器,到2035年,每年可能生產多達4.34億枚高性能AI晶片,研究人員將其等同於Nvidia的H100圖形處理器。這一預測表明,目前DUV機器的可及性可能顯著提升中國國內AI晶片產量,即使中國同時也在追求自主DUV設備的開發。

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