中国储备343台浸润式DUV机器，获得7纳米AI芯片基础

这些DUV机器的采购，特别是NXT:1980i型号，似乎源于美国出口管制中存在的漏洞。尽管先进的极紫外光（EUV）系统受到限制，但较旧的DUV型号，包括浸润式DUV，仍可通过荷兰政府逐案审批获得。这种区别使中国能够继续进口设备，尽管这些设备并非最尖端，但仍可应用于先进芯片制造。报告指出，中国在2024年和2025年花费超过130亿美元购买额外的NXT:1980i机器。

浸润式DUV技术通过在镜头和晶圆之间使用水，提高了精度，相较于干式DUV，能够生产7纳米逻辑芯片和高端存储器。中国将这些进口机器与多重图案化技术（一种以重叠层绘制电路的技术）结合的策略，表明其正努力克服DUV固有的限制。这种方法旨在最大限度地利用现有技术来生产华为Ascend AI加速器和先进存储器等组件。

美国智库预计，如果中国每年继续进口90台NXT:1980i机器，到2035年，每年可能生产多达4.34亿枚高性能AI芯片，研究人员将其等同于Nvidia的H100图形处理器。这一预测表明，目前DUV机器的可及性可能显著提升中国国内AI芯片产量，即使中国同时也在追求自主DUV设备的开发。