🇨🇳中国·AI 新闻·2026年9月19日·来源: SCMP
中国在没有先进光刻工具的情况下,在3纳米芯片方面取得进展
中国研究人员利用较旧的深紫外(DUV)光刻工具,在3纳米以下芯片制造方面取得了早期进展。这项突破来自国家支持的中国科学院(CAS),特别是其微电子研究所(IMECAS)。这项发展显示了中国绕过美国对ASML先进极紫外(EUV)光刻机出口限制的努力。IMECAS已经建立了初步的环栅(GAA)器件开发路径,完成了堆叠纳米片沟道GAA CMOS晶体管的早期集成。
中国在3纳米以下DUV技术的突破并非关于大规模生产,而是证实了该国致力于开辟替代芯片制造路径的决心。中国科学院(CAS)展示了一条初步的环栅(GAA)器件开发路径。这项技术利用了较不先进的深紫外(DUV)光刻技术,从而规避了美国对ASML EUV工具的制裁。目前重点在于基础研究,而非即时商业化。
这项发展提升了台湾芯片代工厂,特别是TSMC的竞争压力。尽管TSMC在先进EUV技术方面处于领先地位,但中国在3纳米以下DUV节点上的进展,最终可能减少对台湾晶圆厂在某些先进芯片上的依赖。TSMC面临的考验是,其技术领先能否在中国发展自身能力的同时保持市场份额。这将使中国具备竞争力的先进制造时间表提前。
值得关注的是中国从实验室突破到试验生产线,再到量产的速度。这将决定对全球供应链的实际影响。如果中国能在2030年前实现哪怕是有限的3纳米以下DUV生产,将显著改变半导体格局。这将挑战目前依赖EUV的制造商的主导地位。





